Η βοηθητική αντλία κενού Inpower χρησιμοποιείται συχνά σε συνδυασμό με άλλους τύπους αντλιών κενού, όπως αντλίες περιστροφικού πτερυγίου ή αντλίες στεγανοποιημένες με λάδι, για τη δημιουργία ενός πιο ισχυρού και αξιόπιστου συστήματος κενού για βιομηχανικές διεργασίες.
Μοντέλο: R30/70/150/300/400/600/900/1200/2500/5000/10000
Τελικό κενό: Μικρότερο ή ίσο με 0.01Pa
ΤΑΧΥΤΗΤΑ 50 Hz: 30-10000 L/s
ΤΑΧΥΤΗΤΑ 60 Hz: 36-12000 L/s
Τεχνική παράμετρος:
|
Μοντέλο |
R30 |
R70 |
R150 |
R300 |
R600 |
R1200 |
R2500 |
|||
|
Ταχύτητα άντλησης (50Hz) |
L/s |
41 |
83 |
166 |
360 |
600 |
1200 |
2500 |
||
|
Ultimate Vacuum (50Hz) |
Πα |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
5*10-2 |
||
|
Μέγιστη Διαφορική Πίεση |
Πα |
6700 |
6700 |
6700 |
5500 |
5500 |
4000 |
4000 |
||
|
Διαφορά πίεσης βαλβίδας υπερχείλισης (προαιρετικό) |
Πα |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
8000 |
||
|
Ισχύς (50 Hz) |
KW |
1.1 |
1.1 |
2.2 |
4 |
7.5 |
11 |
18.5 |
||
|
Ταχύτητα ισχύος (50Hz) |
σ.α.λ |
1440 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
2880 |
||
|
Συνδέω-συωδεομαι |
Διάμετρος εισόδου |
χιλ. |
80 |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
320 |
|
|
Διάμετρος εξόδου |
χιλ. |
80 |
80 |
100 |
150 |
200 |
250 |
320 |
||
|
Μέθοδος Ψύξης |
Αέρας/Νερό |
Αέρας |
Αέρας |
Νερό |
Νερό |
Νερό |
Νερό |
Νερό |
||
|
Βάρος |
Κιλό |
80 |
110 |
200 |
270 |
580 |
780 |
1400 |
||
|
Προαιρετικές απαιτήσεις |
Οι προαιρετικές επιλογές περιλαμβάνουν μεταβλητή συχνότητα,αντιδιαβρωτικά, αντιεκρηκτικά κ.λπ. σύμφωνα με τις απαιτήσεις |
|||||||||
Χαρακτηριστικό γνώρισμα:
Υποστηρικτικός ρόλος: Η βοηθητική αντλία κενού ριζών λειτουργεί σε συνδυασμό με την κύρια αντλία ριζών για να δημιουργήσει και να διατηρήσει το επιθυμητό επίπεδο κενού στο σύστημα. Βοηθά στην εκκένωση των μορίων αερίου που απορρίπτονται από την αντλία των ριζών, εξασφαλίζοντας αποτελεσματική λειτουργία.
Λειτουργία με σφράγιση λαδιού ή ξηρή λειτουργία: Ανάλογα με το συγκεκριμένο μοντέλο, οι βοηθητικές αντλίες κενού ριζών μπορούν να λειτουργούν χρησιμοποιώντας μηχανισμούς σφραγισμένου λαδιού ή ως αντλίες ξηρού αέρα. Οι αντλίες λαδιού προσφέρουν αποτελεσματική σφράγιση και λίπανση, ενώ οι ξηρές αντλίες εξαλείφουν τον κίνδυνο μόλυνσης λαδιού σε ευαίσθητες διεργασίες.
Συμπαγής σχεδίαση: Οι βοηθητικές αντλίες κενού ριζών είναι συχνά συμπαγείς και ελαφριές, γεγονός που τις καθιστά εύκολη την εγκατάσταση και την ενσωμάτωσή τους σε υπάρχοντα συστήματα κενού. Το συμπαγές τους μέγεθος επιτρέπει την ευελιξία στη διάταξη και τη διαμόρφωση του συστήματος.
Αξιοπιστία:
Ακριβώς όπως η κύρια αντλία ριζών, οι βοηθητικές αντλίες κενού ριζών έχουν σχεδιαστεί για αξιοπιστία και ανθεκτικότητα. Είναι κατασκευασμένα για να αντέχουν τη συνεχή λειτουργία και να παρέχουν σταθερή απόδοση για εκτεταμένες περιόδους.
Εφαρμογή βοηθητικής αντλίας κενού Inpower:
Επίστρωση κενού: Οι αντλίες ριζών πολλαπλών σταδίων χρησιμοποιούνται ευρέως σε διαδικασίες επικάλυψης κενού όπως η φυσική εναπόθεση ατμού (PVD) και η χημική εναπόθεση ατμού (CVD) για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών σε υποστρώματα με ακρίβεια και ομοιομορφία.
Κατασκευή ημιαγωγών: Στις εγκαταστάσεις κατασκευής ημιαγωγών, οι ριζικές αντλίες πολλαπλών σταδίων διαδραματίζουν κρίσιμο ρόλο στη δημιουργία και τη διατήρηση των συνθηκών εξαιρετικά υψηλού κενού που απαιτούνται για διαδικασίες όπως η εμφύτευση ιόντων, η χάραξη πλάσματος και η επιθεώρηση πλακιδίων.
Αναλυτικά όργανα: Αναλυτικά όργανα υψηλής απόδοσης όπως φασματόμετρα μάζας, ηλεκτρονικά μικροσκόπια και εργαλεία ανάλυσης επιφάνειας επωφελούνται από τη χρήση αντλιών ριζών πολλαπλών σταδίων για την επίτευξη των χαμηλών πιέσεων βάσης που είναι απαραίτητες για ακριβείς μετρήσεις και αναλύσεις.
Δημοφιλείς Ετικέτες: βοηθητική αντλία κενού, Κίνα κατασκευαστές βοηθητικών αντλιών κενού, προμηθευτές, εργοστάσιο
