Οι αντλίες κενού ημιαγωγών Inpower Dry είναι εξειδικευμένες αντλίες που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών για τη δημιουργία ενός καθαρού και στεγνού περιβάλλοντος κενού. Αυτές οι αντλίες είναι απαραίτητες για διαδικασίες όπως η εναπόθεση χημικών ατμών, η φυσική εναπόθεση ατμών, η εμφύτευση ιόντων και η χάραξη.
Τεχνικές παράμετροι:
|
Μοντέλο |
GXR110 |
GXR180 |
GXR320 |
GXR400 |
|
|
ΤΑΧΥΤΗΤΑ (50Hz) |
m³/h |
110 |
180 |
320 |
400 |
|
Ultimate Vacuum (50Hz) |
Pa |
Μικρότερο ή ίσο με 1 |
Μικρότερο ή ίσο με 1 |
Μικρότερο ή ίσο με 1 |
Μικρότερο ή ίσο με 1 |
|
POWER (50Hz) |
Kw |
4.5 |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
|
Ψύξη αναγκαστικής εσωτερικής κυκλοφορίας |
Το GXR είναι εξοπλισμένο με μια συσκευή ψύξης αναγκαστικής εσωτερικής κυκλοφορίας, με μέγιστη θερμοκρασία σώματος αντλίας ίση με<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Τάση και συχνότητα |
Προσαρμόστε στην παγκόσμια τάση και συχνότητα |
||||
|
Διεπαφή εισόδου/εξόδου |
Προσαρμόσιμη διεπαφή φλάντζας/διασύνδεση KF |
||||
|
Νερό |
Πίεση (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Ροή L/min |
3-5 |
||||
|
Όρος (πτυχίο) |
10-30 |
||||
|
N2 |
Πίεση (MPa) |
0.05-0.1 |
|||
|
Ροή L/min |
6-20 |
||||
|
Θόρυβος |
dB |
Μικρότερο ή ίσο με 68 |
Μικρότερο ή ίσο με 68 |
Μικρότερο ή ίσο με 70 |
Μικρότερο ή ίσο με 70 |
|
Βάρος |
Κιλό |
280 |
360 |
360 |
420 |
|
Παρακολούθηση και Έλεγχος |
Πίνακας ελέγχου/ψηφιακή οθόνη κενού/παρακολούθηση θερμοκρασίας/παρακολούθηση ρεύματος/συναγερμός σφάλματος/άλλες υπηρεσίες δικτύου |
||||
|
Μοντέλο |
GXR180/800 |
GXR180/1300 |
GXR180/1800 |
GXR450/2600 |
|
|
ΤΑΧΥΤΗΤΑ (50Hz) |
m³/h |
800 |
1300 |
1800 |
2600 |
|
Ultimate Vacuum (50Hz) |
Pa |
Μικρότερο ή ίσο με 0.1 |
Μικρότερο ή ίσο με 0.1 |
Μικρότερο ή ίσο με 0.1 |
Μικρότερο ή ίσο με 0.1 |
|
POWER (50Hz) |
Kw |
7.5 |
7.5 |
9 |
15 |
|
Ψύξη αναγκαστικής εσωτερικής κυκλοφορίας |
Το GXR είναι εξοπλισμένο με μια συσκευή ψύξης αναγκαστικής εσωτερικής κυκλοφορίας, με μέγιστη θερμοκρασία σώματος αντλίας ίση με<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
||||
|
Τάση και συχνότητα |
Προσαρμόστε στην παγκόσμια τάση και συχνότητα |
||||
|
Διεπαφή εισόδου/εξόδου |
Προσαρμόσιμη διεπαφή φλάντζας/διασύνδεση KF |
||||
|
Νερό |
Πίεση (MPa) |
0.2-0.4 |
|||
|
Ροή L/min |
0.1 |
||||
|
Όρος (πτυχίο) |
3-5 |
||||
|
N2 |
Πίεση (MPa) |
10-30 |
|||
|
Ροή L/min |
0.05-0.1 |
||||
|
Θόρυβος |
Πίεση (MPa) |
6-20 |
|||
|
Βάρος |
dB |
Μικρότερο ή ίσο με 70 |
Μικρότερο ή ίσο με 70 |
Μικρότερο ή ίσο με 72 |
Μικρότερο ή ίσο με 72 |
|
Παρακολούθηση και Έλεγχος |
Κιλό |
600 |
720 |
800 |
1350 |
|
ΤΑΧΥΤΗΤΑ (50Hz) |
Πίνακας ελέγχου/ψηφιακή οθόνη κενού/παρακολούθηση θερμοκρασίας/παρακολούθηση ρεύματος/συναγερμός σφάλματος/άλλες υπηρεσίες δικτύου |
||||
Χαρακτηριστικό γνώρισμα:
Λειτουργία χωρίς μόλυνση:
Οι αντλίες ξηρής βίδας δεν απαιτούν υγρά λίπανσης ή στεγανοποίησης, εξαλείφοντας τον κίνδυνο μόλυνσης στο θάλαμο κενού. Αυτό είναι ζωτικής σημασίας για τη διατήρηση της καθαρότητας του περιβάλλοντος παραγωγής ημιαγωγών.
Υψηλή ταχύτητα άντλησης:
Οι αντλίες ξηρής βίδας είναι ικανές να επιτυγχάνουν υψηλές ταχύτητες άντλησης, καθιστώντας τις κατάλληλες για εφαρμογές όπου απαιτείται ταχεία εκκένωση αερίων, όπως στην επεξεργασία ημιαγωγών.
Χαμηλές απαιτήσεις συντήρησης:
Σε σύγκριση με τις αντλίες στεγανοποίησης λαδιού, οι αντλίες ξηρής βίδας έχουν χαμηλότερες ανάγκες συντήρησης, καθώς δεν βασίζονται σε λάδι για τη λειτουργία τους. Αυτό οδηγεί σε μειωμένο χρόνο διακοπής λειτουργίας και εξοικονόμηση κόστους κατά τη διάρκεια του κύκλου ζωής της αντλίας.
Ενεργειακής απόδοσης:
Οι αντλίες ξηρής βίδας έχουν σχεδιαστεί για ενεργειακή απόδοση, βοηθώντας τους κατασκευαστές ημιαγωγών να μειώσουν τη συνολική κατανάλωση ενέργειας και το λειτουργικό τους κόστος.
Ευρύ εύρος λειτουργίας:
Αυτές οι αντλίες μπορούν να λειτουργήσουν σε ένα ευρύ φάσμα πιέσεων, προσφέροντας ευελιξία σε διάφορες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών που απαιτούν διαφορετικά επίπεδα κενού.
Συμπαγής σχεδιασμός:
Οι αντλίες ξηρής βίδας έχουν συνήθως συμπαγή σχεδιασμό, που επιτρέπει την εύκολη ενσωμάτωση σε εξοπλισμό ημιαγωγών και εξοικονομεί πολύτιμο χώρο δαπέδου σε περιβάλλοντα καθαρού δωματίου.
Αξιοπιστία:
Οι αντλίες ξηρής βίδας είναι γνωστές για την αξιοπιστία τους και τη μεγάλη διάρκεια ζωής τους, παρέχοντας σταθερή απόδοση με την πάροδο του χρόνου και συμβάλλοντας στη συνολική απόδοση των εργασιών κατασκευής ημιαγωγών.
Αντλίες κενού ημιαγωγών Inpower Dry Περιοχή εφαρμογής:
Κατασκευή ημιαγωγών:
Οι αντλίες ξηρής βίδας διαδραματίζουν κρίσιμο ρόλο σε διάφορες διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD), της φυσικής εναπόθεσης ατμών (PVD), της εμφύτευσης ιόντων, της χάραξης και της ψεκασμού. Βοηθούν στη δημιουργία και διατήρηση των απαιτούμενων επιπέδων κενού που είναι απαραίτητα για αυτές τις διαδικασίες.
Εναπόθεση λεπτής μεμβράνης:
Σε τεχνικές εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης, όπως η εκτόξευση και η εξάτμιση, χρησιμοποιούνται αντλίες ξηρού κοχλία για την εκκένωση του θαλάμου διεργασίας και τη διατήρηση των απαιτούμενων συνθηκών κενού για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών σε υποστρώματα.
Επεξεργασία γκοφρέτας:
Οι αντλίες ξηρής βίδας χρησιμοποιούνται σε στάδια επεξεργασίας πλακιδίων, όπως ο καθαρισμός, η διαμόρφωση και το ντόπινγκ, όπου η διατήρηση ενός καθαρού και στεγνού περιβάλλοντος κενού είναι ζωτικής σημασίας για την επίτευξη ακριβών και αξιόπιστων αποτελεσμάτων.
Δημοφιλείς Ετικέτες: αντλίες κενού ξηρού ημιαγωγού, Κίνα κατασκευαστές αντλιών κενού ξηρών ημιαγωγών, προμηθευτές, εργοστάσιο
