Μηδενικής διαρροής Magnetic Drive Roots Booster Vacuum
Ο ενισχυτής μηδενικής διαρροής Magnetic Drive Roots χρησιμοποιεί μια ερμητικά σφραγισμένη μαγνητική μετάδοση για τη μεταφορά ροπής μεταξύ του κινητήρα και του θαλάμου άντλησης. Με την εξάλειψη των συμβατικών δυναμικών στεγανοποιήσεων άξονα, αυτός ο σχεδιασμός αφαιρεί την κύρια διαδρομή διαρροής που είναι εγγενής στους τυπικούς μηχανικούς-ενισχυτές μετάδοσης κίνησης, αποτρέποντας τη μόλυνση αερίων διεργασίας και την είσοδο στην ατμόσφαιρα.
Σχεδιασμένο ως ενισχυτής υψηλής-χωρητικότητας για πρωτογενείς αντλίες υποστήριξης, αυτό το σύστημα βελτιστοποιεί την ταχύτητα άντλησης και την τελική απόδοση κενού σε διαδικασίες ημιαγωγών, χημικών, μεταλλουργικών και βιομηχανικών επικαλύψεων.
Τεχνικές Προδιαγραφές
Οι ακόλουθες παράμετροι χρησιμεύουν ως βάση για την τεχνική αξιολόγηση και την επιλογή μοντέλου:
|
Παράμετρος |
Προδιαγραφές / Βάση Επιλογής |
|
Μηχανισμός Αντλίας |
Dual-rotor Roots ενισχυτή κενού |
|
Διεπαφή μονάδας δίσκου |
Ερμητικά σφραγισμένος μαγνητικός σύνδεσμος (Χωρίς διείσδυση άξονα) |
|
Ονομαστική ταχύτητα άντλησης |
Διαμορφώθηκε στο απαιτούμενο σημείο λειτουργίας |
|
Τελική πίεση |
Εξαρτάται από τη διαμόρφωση του συστήματος και την απόδοση της αντλίας υποστήριξης |
|
Εύρος πίεσης εργασίας |
Καθορίζεται από το συνεχές φορτίο αερίου και τη διαμόρφωση ενισχυτή |
|
Μέγ. Επιτρεπόμενη Διαφορική Πίεση |
Μοντέλο-συγκεκριμένο. προστατεύεται από βαλβίδα παράκαμψης ή διακόπτη πίεσης |
|
Ποσοστό διαρροής |
Δοκιμασμένο μέσω Φασματομετρίας Μάζας Ηλίου (<= 1x10^-9 Pa·m^3/s) |
|
Πρότυπα φλάντζας |
Διατίθενται πρότυπα ISO-K, CF, DN ή ANSI |
|
Μέθοδος Ψύξης |
Αερόψυξη-ή υδρόψυξης-(βάσει θερμικού φορτίου) |
|
Συμβατότητα αερίου |
Προσαρμογή υλικού με βάση την ανάλυση διαβρωτικών/συμπυκνώσιμων αερίων |
|
Τροφοδοσία & Τροφοδοσία |
Τυπικό 3-φασικό (380V/440V/480V, 50/60 Hz, ATEX προαιρετικό) |
Τεχνολογία Magnetic Drive & Έλεγχος Διαρροών
Εξάλειψη δυναμικών στεγανοποιήσεων άξονα
Οι ενισχυτές Standard Roots βασίζονται σε δυναμικές μηχανικές στεγανοποιήσεις άξονα, οι οποίες φθείρονται σταδιακά λόγω τριβής, θερμικής διαστολής και χημικής υποβάθμισης.
Το σύστημα μαγνητικής κίνησης εξαλείφει αυτό το σημείο αστοχίας χρησιμοποιώντας ένα στατικό κέλυφος συγκράτησης (κάνιστρο):
Μετάδοση ροπής: Οι εξωτερικοί μαγνήτες οδηγούν τους εσωτερικούς μαγνήτες μέσα από ένα συμπαγές, μη-μαγνητικό φράγμα χωρίς άμεση επαφή.
Ερμητική στεγανοποίηση: Μετατρέπει μια δυναμική σφράγιση σε στατική διάταξη σφράγισης, εξαλείφοντας τη διαρροή του άξονα και προστατεύοντας την καθαρότητα της διαδικασίας.
Μετρήσιμα πρότυπα διαρροής
Στη μηχανική υψηλού{0}}κενού, η "μηδενική διαρροή" αναφέρεται σε ένα αυστηρό, μετρήσιμο πρότυπο αποδοχής και όχι σε έναν μη επαληθευμένο ισχυρισμό μάρκετινγκ.
Εγγύηση ποιότητας: Κάθε μονάδα έχει δοκιμαστεί στο εργοστάσιο- υπό δυναμικό κενό με χρήση ανιχνευτών διαρροής φασματόμετρου μάζας ηλίου (HMSLD) για επιβεβαίωση της συμμόρφωσης με τα όρια ρυθμού διαρροής ηλίου3. . Τα πιστοποιητικά δοκιμής περιλαμβάνονται στην τεκμηρίωση αποστολής.
Βασικές Βιομηχανικές Εφαρμογές
Ο ενισχυτής μαγνητικής κίνησης είναι ιδανικός για εφαρμογές που απαιτούν αυστηρό περιορισμό αερίων, απομόνωση τοξικών υλικών ή εξαιρετικά-καθαρές συνθήκες:
Ημιαγωγοί & Ηλεκτρονικά:Εναπόθεση PVD/CVD, χάραξη, τράβηγμα κρυστάλλων και επεξεργασία γκοφρέτας που περιλαμβάνει αέρια υψηλής-καθαρότητας ή αντιδραστήρια.
Χημική & Φαρμακευτική Επεξεργασία:Ανάκτηση διαλύτη, απόσταξη υπό κενό, θερμική απαέρωση και επιθετική εξαγωγή ατμών.
Επίστρωση κενού & Μεταλλουργία:Οπτική επίστρωση, συγκόλληση με δέσμη ηλεκτρονίων-, επαγωγική τήξη κενού (VIM) και βιομηχανικοί κλίβανοι θερμικής επεξεργασίας.
Ανάκτηση αερίου υψηλής-Αξίας:Ανακυκλοφορία κλειστού-βρόχου σπάνιων ή ακριβών αερίων, συμπεριλαμβανομένων ηλίου (He), αργού (Ar) και εξαφθοριούχου θείου (SF6).
Οδηγός ολοκλήρωσης και επιλογής συστήματος
Η επιλογή του βέλτιστου ενισχυτή Roots απαιτεί την αξιολόγηση ολόκληρου του συστήματος κενού αντί να βασίζεται αποκλειστικά στην ονομαστική ταχύτητα άντλησης.
Υπολογισμός της στοχευόμενης ταχύτητας άντλησης:Προσδιορίστε την αποτελεσματική ταχύτητα με βάση τον συνολικό όγκο του θαλάμου, τον απαιτούμενο χρόνο εκκένωσης, τη ροή αερίου διεργασίας και την εξάτμιση του συστήματος.
Αντιστοίχιση αντλίας υποστήριξης:Βεβαιωθείτε ότι η αντλία υποστήριξης παρέχει επαρκή απόδοση για να χειριστεί την εκκένωση από τον ενισχυτή χωρίς να υπερβαίνει τα όρια μέγιστης διαφορικής πίεσης.
Αναθεώρηση μέσων διαδικασίας:Προσδιορίστε διαβρωτικά, τοξικά, συμπυκνώσιμα ή σωματιδιακά-αέρια για να επιλέξετε κατάλληλες επικαλύψεις ρότορα (όπως PTFE ή επινικελίωση), διαμορφώσεις έρματος αερίου ή μονάδες διήθησης εισόδου.
Διασφάλιση Ποιότητας & Πρότυπα Κατασκευής
Μηχανική Ακρίβειας:Το φρεζάρισμα προφίλ CNC διατηρεί εξαιρετικά σφιχτά-τα διάκενα του ρότορα-στο-περιβλήματος, βελτιστοποιώντας την ογκομετρική απόδοση χωρίς μηχανική επαφή.
Δυναμική εξισορρόπηση:Οι ρότορες υπόκεινται σε δυναμική ζυγοστάθμιση σύμφωνα με τα πρότυπα ISO 1940 G1.0 για εξασφάλιση χαμηλών κραδασμών και μεγάλης διάρκειας ζωής ρουλεμάν.
Ασφάλεια ζεύξης:Τα συγκροτήματα μαγνητικής μονάδας δίσκου υποβάλλονται σε δοκιμή θερμικής-καταπόνησης-για να διασφαλίζεται μηδενική ολίσθηση υπό πλήρες φορτίο λειτουργίας.
FAQ
Ε: Πώς η μαγνητική κίνηση αποτρέπει τη μόλυνση αερίων διεργασίας;
Α: Σε αντίθεση με τους παραδοσιακούς ενισχυτές Roots που χρησιμοποιούν περιστρεφόμενες μηχανικές στεγανοποιήσεις γύρω από τον άξονα, η μαγνητική κίνηση μεταδίδει τη ροπή μέσω ενός στερεού στατικού φραγμού συγκράτησης.
Ε: Μπορεί αυτός ο ενισχυτής να ξεκινήσει από την ατμοσφαιρική πίεση;
Α: Οι ενισχυτές Standard Roots δεν θα πρέπει να ξεκινούν σε ατμοσφαιρική πίεση χωρίς προστασία, καθώς οι υψηλές διαφορές πίεσης μπορεί να προκαλέσουν υπερφόρτωση κινητήρα και θερμική διαστολή των ρότορων.
Ε: Πώς προστατεύεται η μαγνητική κίνηση από την ολίσθηση ή την υπερφόρτωση ροπής;
Α: Η μαγνητική σύζευξη βαθμολογείται πάνω από τη μέγιστη απαίτηση ροπής λειτουργίας. Εάν συμβεί ένα απροσδόκητο μηχανικό κλείδωμα, το μαγνητικό πεδίο θα αποσυνδεθεί (γλιστρήσει) για να προστατεύσει τα εσωτερικά εξαρτήματα και τον κινητήρα από καταστροφική βλάβη.
Ε: Μπορεί αυτή η αντλία να χειριστεί διαβρωτικά ή συμπυκνώσιμα αέρια;
Α: Ναι. Για επιθετικές ή συμπυκνώσιμες εφαρμογές, προσφέρουμε προσαρμοσμένα υλικά περιβλήματος και ρότορα (όπως ανοξείδωτο χάλυβα ή ειδικές επιστρώσεις επιφανειών όπως PTFE και επινικέλιο).
Ε: Ποια τεχνικά δεδομένα πρέπει να παρέχω όταν ζητώ μια προσφορά;
Α: Για να διασφαλίσετε το ακριβές μέγεθος, παρέχετε: στοχευόμενη πίεση λειτουργίας, απαιτούμενη ταχύτητα άντλησης ή όγκο θαλάμου με τον χρόνο λειτουργίας της αντλίας στόχο-, σύνθεση αερίου, υπάρχουσες προδιαγραφές αντλίας υποστήριξης (εάν υπάρχουν), προτιμώμενα πρότυπα φλάντζας και απαιτήσεις κοινής χρήσης (τάση/νερό ψύξης).
Δημοφιλείς Ετικέτες: Μηδενικής διαρροής ενισχυτή μαγνητικής ρίζας κίνησης, Κίνα μηδενικής διαρροής ενισχυτή ριζών μαγνητικής κίνησης κατασκευαστές, προμηθευτές, εργοστάσιο






